一、產(chǎn)品概述
SIC 涂層具有耐高溫、抗氧化、純度高和耐酸堿鹽及有機(jī)試劑等特性，物理化學(xué)性能穩(wěn)定。SIC涂層作為一種新耗材，在MOCVD設(shè)備、粉末燒結(jié)等工序上逐漸代替高純石墨。
二、主要特點(diǎn)
1.高溫抗氧化：溫度高達(dá)1600℃時抗氧化性能仍非常好。
2.純度高：高溫氯化條件下采用化學(xué)氣相沉積方法制得。
3.耐沖刷：硬度高、表面致密、顆粒細(xì)。
4.抗腐蝕性：耐酸、堿、鹽及有機(jī)試劑腐蝕。
5.化學(xué)性能穩(wěn)定、熱導(dǎo)率高、熱膨脹系數(shù)小、耐磨性能好
三、產(chǎn)品應(yīng)用
1、用作硅外延生長用基座
2、用作單晶硅生長爐內(nèi)的爐具配件
3、MOCVD用基座
4、用于加熱器
5、用作耐氧化材料
6、用于均熱板