MMLAB-prb系列系列朗繆爾探針系統(tǒng)

等離子體診斷：MMLAB-prb系列朗繆爾探針系統(tǒng)

MMLAB-prb系列朗繆爾探針系統(tǒng)基于虛擬儀器原理設(shè)計(jì)，簡化了硬件結(jié)構(gòu)，抗干擾性強(qiáng)，工作可靠，能夠用于各種放電形式的等離子體診斷。其中MMLAB-prb1型為通用型；MMLAB-prb1a型為功能擴(kuò)展型，可用于診斷射頻等離子體；MMLAB-prb2型是雙探針型，可適用于無極放電等離子體，對(duì)等離子體擾動(dòng)?。?span lang="EN-US">MMLAB-prb3型是三探針型，可用于等離子體快速診斷（可達(dá)亞微秒級(jí)）及等離子體參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)控； MMLAB-prb-hmc型是諧波探針型，可用于絕緣薄膜沉積環(huán)境的等離子體診斷和等離子體參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)控； MMLAB-prb-ems型是發(fā)射探針型，用于準(zhǔn)確測(cè)量等離子體及鞘層內(nèi)的空間電勢(shì)。

基于虛擬儀器的朗繆爾探針等離子體診斷方法已申報(bào)國家發(fā)明專利。儀器已在國內(nèi)外多家實(shí)驗(yàn)室和企業(yè)的等離子體設(shè)備上獲得了應(yīng)用。