1.微波系統(tǒng)(采用進(jìn)口微波源)

微波頻率

2450±25MHz

輸出功率

0.6kw~6kw 連續(xù)可調(diào)

微波泄漏

離設(shè)備 5cm 處，微波泄漏≤ 2 mw/cm2

2.真空系統(tǒng)

工作氣壓范圍

10~250Torr

自動穩(wěn)壓范圍

40~250Torr

真空泵

采用 4.4L/s 旋片式真空泵

系統(tǒng)漏率

<1.0×10^-9 Pa*m³ /秒 (通過氦質(zhì)譜檢漏儀檢測)

腔體保壓能力

每 24 小時(shí)壓升小于 0.2 Torr

本底極限真空

0.1Pa(7.5×10^-4 Torr)

3.真空反應(yīng)腔及基片臺

反應(yīng)腔材料及結(jié)構(gòu)

雙層水冷不銹鋼反應(yīng)腔

電動升降式水冷基片臺，直徑 100mm

鉬基片臺直徑≥50mm

4.氣路

系統(tǒng)自帶四路 MFC，可擴(kuò)展至六路

選用日本富士金進(jìn)口流量計(jì)及流量控制閥

5.測溫系統(tǒng)

選用德國品牌紅外測溫儀，范圍：300~1300 攝氏度

6.軟件

配置 PLC 控制的 15“觸摸顯示屏，用戶操作界面友好，所有操作均可在觸摸屏上完成

自帶缺水，缺氣，電源缺相，火球跳變，過溫過載，打火等自動保護(hù)

生產(chǎn)流程通過工藝配方自動控制,可設(shè)置多達(dá)十套工藝配方

系統(tǒng)自帶全自動抽氣，點(diǎn)火，升溫，降溫等預(yù)設(shè)流程，用戶操作簡便

全自動溫度控制，氣壓控制，極大減輕系統(tǒng)操作員的工作量